測試:
a. 測試儀正常啟動,預(yù)熱完成后,按測試儀前面板上的工作模式按鍵,蜂鳴器響一聲,進(jìn)入按鍵所指示的工作模式。其它時間,測試儀一直自動地處于測量狀態(tài)。
b.試樣標(biāo)長設(shè)定:按前面板右側(cè)按鍵板上的設(shè)置鍵,設(shè)置鍵指示燈亮,液晶屏進(jìn)入數(shù)據(jù)設(shè)置界面,直接點擊標(biāo)長值框,此時LCD上會彈出一個數(shù)字鍵盤,在上面輸入材料的標(biāo)準(zhǔn)長度值,為一位整數(shù),三位小數(shù),單位為米,數(shù)值輸完,按ENTER鍵,此時標(biāo)長值框即顯示所輸入的標(biāo)長度值。
試樣直徑和總長和質(zhì)量的設(shè)定與標(biāo)長設(shè)定類似,全部輸入后按鍵盤上的設(shè)置鍵,設(shè)置鍵燈滅,液晶屏的數(shù)據(jù)設(shè)置界面回到測試界面,進(jìn)入測試狀態(tài)。
c.電壓、電流量程根據(jù)材料的特性儀器會自動選擇。
注:當(dāng)電流量程選擇不合適,測量數(shù)據(jù)超出量程時,測試儀試樣電阻值框處顯示為OVERRANGE,提示超量程。
表4–1半導(dǎo)電材料電阻率測量推薦的電流量程
100 mA | 10-3∽10-2 | 10-2∽10-1 | 10-1∽2 | |
10 mA | 10-1∽2 | 1∽20 | 10∽200 | |
1 mA | 10∽200 | 100∽2K | ||
100μA | 1K∽20K | |||
10μA | 10K∽200K | |||
1μA | 100K∽2M |
注: 在電流量程選擇不當(dāng)時,會出現(xiàn)電流供給不足,造成測量錯誤的現(xiàn)象,所以在測試一個未知的材料時,可以先選用小電流測試,然后逐漸加大電流,以得到更精確的測量。
d、測試方式選擇:測試儀有手動、自動兩種測量方式,可以按 手動/自動 按鍵選擇測量方式
按手動按鍵后<手動/自動鍵>指示燈亮,表示進(jìn)入手動電流選擇,此時LCD的試樣電阻值框處顯示為CCS????,待按下電流值(直接在LCD上觸碰)后,儀器進(jìn)入測試模式,LCD的試樣電阻值框處不再顯示CCS????,顯示的是測量值。
e、測量:
①、自動測量方式:直接接上測試試樣即可,測試結(jié)果即顯示在LCD上。
注: 系統(tǒng)對測試的數(shù)據(jù)的穩(wěn)定度設(shè)置較嚴(yán)格, 建議使用自動模式測量。
②、手動測量方式:選擇手動模式,直接接上測試試樣即可,測試結(jié)果即顯示在LCD上。
試樣的參數(shù)缺省值如下:直徑0mm 質(zhì)量0kg 標(biāo)長1m 總長0m
如果未輸入試樣參數(shù),或相關(guān)運(yùn)算中的一個參數(shù)有一個為0,LCD的相關(guān)項的電阻率值框處將顯示“NO-PARA"(沒有參數(shù))